Schon im Pali-Kanon finden sich tantrische Elemente, aber erst nach der vollen Ausprägung des Mahayana während der ersten Jahrhunderte n. Chr entstehen im 4./5. Jh. die grossen buddhistischen Tantras und verbinden sich mit den beiden philosophischen Hauptschulen Madhyami und Cittamatra. Die Tradition schreibt sowohl Amriga als auch Nagarjuna die Einführung der tantrischen Praxis in den Buddhismus zu. Tatsächlich lassen die Unterschiede der Systeme (Guhyas maja, Hevajra, Kalacakra u. a.) auf räumlich und zeitlich verschiedene Entstehung schliessen. Besonders im 7./8. Jahrhundert blühte der Tantrismus an den buddhistischen Klosteruniversitäten Nordindiens (Nalanda, Vikramagil).

Von hier aus wurde er durch Ssantaraksita und Padmasambhava im 8. Jh. in Tibet eingeführt (775 Gründung des Klosters Samye). Durch diese erste und die im 10. Jh. erfolgte zweite Verbreitung (Rinchen Sangpo, 958-1055; Atria, 982-1054) wurde der tantrische Buddhismus Staatsreligion in Tibet und kam bis nach Zentralasien und in die Mongolei. Er breitete sich auch in Südostasien bis Bali sowie nach China, Korea und Japan aus (chin. Hua-yen und T'ien-t'ai, jap. Kegon und Tendar).
Die tibetische Tradition unterscheidet vier Tantraklassen:
1. Tantra der (kultischen) Handlung (Skt. kriyatantra, tibet. bya rgyud),
2. Tantra der Vollzugspraxis (Skt. caryatantra, tibet. spyod rgyud),
3. Yogatantra (Skt. yogatantra, tibet. mal 'byor rgyud),
4. Höchstes Yogatantra (Skt. anuttarayogatantra, tibet. mal 'byor bla med kyi rgyud). Das letzte grosse und heute besonders wichtige Kalacakra System ist wohl im 9. Jahrhundert in Zentralasien evtl. unter manichäischem Einfluss entstanden. Die Legende führt es - wie alle Tantras - auf esoterische Lehrreden des Buddha sakyamuni zurück und siedelt es in Südindien an. Es ist mit dem chiliastischen Mythos von Shambala, dem irdischen Paradies, das nur dem geistig geläuterten Auge und Herzen sichtbar ist, verbunden. Das Tantra wurde 1027 von dem Kashmir-Brahmanen Somanatha in Tibet eingeführt, und seine Überlieferungsgeschichte ist mit Tilopa, Naropa, Atiha, Tsongkapa und den Dalai-Lamas verbunden.